シリコンウェーハのプラズマ処理に関連する劣化を研究する新手法

酸化膜電位と表面光起電力測定に基づく新世代のモニタリングツールは、プラズマダメージ、特に誘電体電荷蓄積、放射線ダメージ、重金属汚染のリアルタイム・非接触診断を提供します。このアプローチは、テスト構造ではなく再利用可能な10,000 Å酸化膜モニターウェーハに依存しています。この技術は、プラズマダメージとプラズマ装置特性の相関分析に強力なウェーハ全面マップを生成します。

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