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精度が10倍向上した新世代のSPV少数キャリア拡散長メトロロジーについて論じます。これにより、E8 atoms/cm3レンジでのシリコンウェーハ中の鉄検出と、真の定常状態拡散長L0の抽出が可能になります。この改善は、再設計されたハードウェアとSPV測定プロセスの完全デジタル制御によるものです。このデジタルSPVは、Fe検出とL0の抽出を最適化する新しいマルチ周波数アプローチを組み込んでいます。後者は、SPVツールに組み込まれたウェーハ裏面再結合速度測定によりサポートされています。
M. Wilson, A. Savtchouk, I. Tarasov, J. D’Amico, P. Edelman, N. Kochey, J. Lagowski