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2018 • ASMC 2018 Conference Proceedings
マイクロフォトルミネッセンスイメージングを使用して、ディープトレンチアイソレーションに関連する転位密度に対する熱処理ステップの影響を特定しました。従来の研究では、ディープトレンチからの転位に伴うスリップによるゲート酸化膜の不良が示されていました。マイクロフォトルミネッセンスイメージングは、ディープトレンチアイソレーション（DTI）ウェーハの処理中に熱誘起応力によって引き起こされる転位発生を観察する能力を実証しました。
L. Jastrzebski Semilab USA LLC Tampa, FL G. Nadudvari, D. T. Cseh, L. Roszol, G. Molnar, I. Lajtos Semilab ZRT Budapest, Hungary