イオン注入チルト角モニタリングのための光変調反射率測定技術

光変調反射率測定（PMR）は、アズインプラントのアニール前製造ウェーハのインプラントドーズ量およびチルトモニタリングのための優れた技術である。Semilab PMR-3000は、熱アニールプロセスステップ前のイオン注入モニタリング用インラインモニタリング装置である。強化された光学系により、中ドーズ範囲における非感応域なく全ドーズ範囲での測定が保証される。典型的なドーズ検出能力は<;0.5%（1σ）である。チルト角検出の分解能は<;0.1°（1σ）である。このチルト角に対する感度は、最先端のプロセス制御要件を満たしている。

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