ゲート酸化膜へのプラズマダメージの歩留まりおよび信頼性への影響の関係

アンテナテスターで測定されたゲート酸化膜ダメージと、量産チップにおける歩留まり低下および信頼性劣化との直接的な相関を報告します。歩留まり低下の大きさと信頼性故障との関係を検討します。モデリングおよび実験的検証により、プラズマ帯電ダメージが歩留まり低下と長期信頼性劣化を一般的に引き起こし得るが、短期信頼性への影響は軽微であることを実証します。

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