반도체의 코로나 산화물 특성화(COCOS) 계측: 게이트 유전체에 대한 비접촉 계측

COCOS 계측을 사용하면 300mm를 포함한 모든 웨이퍼 크기에 대해 게이트 유전체를 비접촉 방식으로 신속하게 모니터링할 수 있습니다. 이 접근 방식은 지난 5년 간 개발되어 왔으며 이미 다수의 마이크로 전자 공정 라인에 적용되고 있습니다. 이 방법은 공기 중 코로나 충전을 이용하여 유전체에 전하를 축적하고, 이를 통해 유전체와 반도체 내 전기장을 변화시킵니다. 이러한 응답은 어두운 곳과 강한 광원 아래에서 접촉 전위차인 VCPD를 사용하여 비접촉 방식으로 측정됩니다.