인라인 품질 관리를 위한 이미터 시트 저항 측정에 대한 비교 연구

최신 결정질 Si 태양전지 제조 라인의 자동화 수준과 처리량이 증가함에 따라 해당 공정 장비에 직접 통합된 품질 관리(QC)에 대한 관심이 높아지고 있습니다. 인 확산 단계의 주요 QC 파라미터는 수동으로 채취한 시료를 기반으로 일반적으로 측정되는 이미터 시트 저항입니다. 이에 반해, 본 연구에서는 대량 생산용 확산 장비에 직접 통합할 수 있는 측정 방법의 개발 및 평가를 목표로 하였습니다. 와전류 기술과 SPV(표면-광-전압) 프로빙을 기반으로 새로 개발된 시스템이라는 두 가지 비접촉식 접근 방식이 연구되었습니다. 기준 측정 기술로는 4점 프로브 FPP가 사용되었습니다. 그 결과 신규 SPV 방식은 이미 30 MW급 셀 생산 라인에 적용되어 있으며, 오프라인 FPP와 동일한 수준의 정확도를 제공하는 것으로 확인된 반면, 와전류 기법은 적용이 어려운 것으로 나타났습니다.

‍