인라인 코로나 전하 계측을 통한 레이저 유도 계면 트랩 제어

레이저 어닐링은 USJ(Ultra Shallow Junction)에 이상적인 활성화 단계입니다. 그러나 게이트 유전체의 계면 트랩(Dit) 밀도가 증가하여 NBTI 신뢰성이 저하될 수 있습니다. 따라서 어닐링 조건의 영향은 코로나 전하 계측을 통해 연구됩니다. SiO2는 레이저 유도 Dit를 감소시키기 위한 복구 솔루션이 작동되는 기준 게이트 유전체로 사용됩니다. 그러나 이러한 복구 공정은 USJ 특성의 열화를 초래할 수 있어 복구를 위한 공정 조건 선택에 제약을 줄 수 있습니다. 스파이크 어닐링에 의한 Dit 감소는 SiO2 및 SiON의 경우 응력 완화로 설명될 수 있습니다. 반면, HiK 게이트 유전체에서는 화학적 상호 작용과 결정화로 인해 거동이 더욱 복잡해집니다. 복구 공정은 스파이크 어닐링과 멀티스캔 레이저 어닐링으로 수행될 수 있으며 USJ 특성 유지 측면에서는 후자가 더 적합합니다.

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