마이크로파 반사 광전도 감쇠를 이용한 요소별 진단

마이크로파 반사 광전도 붕괴(μ-PCD) 분석 재조합 센터 전에 요소별 드라이브-인 처리를 적용하면 재결합 수명(τ) 저하에 영향을 미치는 금속 오염물질이 할당될 수 있습니다. 원소별 정보는 주입 준위의 변화(주입 준위 분광법)를 통해 추가로 얻을 수 있습니다. Schockley-Read-Hall-재결합 모델을 사용하여 측정된 수명과 계산된 수명을 비교하면 Fe가 수명을 저하시켜 'lifetime killer'로 작용함을 확인합니다. 수명과 시료 두께 데이터의 상관관계를 통해 절대 수명 보정이 가능함을 제시합니다.

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