비접촉 특성 분석 방법을 이용한 이온 주입 에너지 모니터링

최첨단 초박형 접합은 1~3keV 수준의 극히 낮은 이온 주입 에너지를 사용하여 생산됩니다. 이는 다양한 생산 기술을 통해 달성될 수 있으나 실제 주입 에너지가 목표 값과 차이를 보일 위험이 있습니다. 이를 검출하기 위해서는 높은 감도의 측정 기법이 필요합니다. 실험 결과, 어닐링 전 광변조 반사 측정과 어닐링 후 접합 광전압 기반 시트 저항 측정이 모두 이러한 목적에 적합함을 확인하였습니다.

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