제품 정보 및 가격 문의
연구 요구에 맞춘 전문가 상담과 맞춤형 솔루션을 받아보세요
2000 • International Symposium on Plasma Process-Induced Damage, 2000
안테나 테스터에서 측정된 게이트 산화막 손상과 생산 칩에서의 수율 손실 및 신뢰성 저하 사이의 직접적인 상관관계를 보고합니다. 수율 손실의 크기와 신뢰성 실패 간의 관계를 분석합니다. 모델링과 실험적 검증을 통해, 플라즈마 충전 손상이 일반적으로 수율 손실과 장기 신뢰성 저하를 유발할 수 있으나 단기 신뢰성에는 미치는 영향이 제한적임을 입증합니다.
P.W. Mason, D.K. DeBusk, J.K. McDaniel, A.S. Oates, K.P. Cheung