QSS-μPCD 방법을 이용한 직접 보정을 통한 광발광 기반 이미터 포화 전류 이미징을 위한 단일 이미지 개념

광발광 이미징 기반 기법이 소개되며, 이를 통해 다양한 재료 파라미터 범위에서 단일 PL 이미지만으로 웨이퍼의 이미터 포화 전류 이미지를 측정할 수 있습니다. QSS-μPCD 기법은 직접적인 J_0e 보정을 위한 독립적인 기준값을 획득하는 데 사용됩니다. 확장된 J_0e 및 벌크 수명 범위에서 정확한 결과를 얻기 위해서는 벌크 수명의 추정이 매우 유용한 것으로 나타났습니다. QSS-μPCD Basore-Hansen 플롯으로부터 이 벌크 수명 값을 신뢰성 있게 추정할 수 있음을 보였습니다. 계산된 수명 관련 보정값은 실험 결과와 비교되었으며 우수한 일치를 나타냈습니다. 산업용 인라인 적용 가능성을 고려하여 1D 카메라 기반 PL 시스템에서의 결과도 제시되었습니다.