透過光致發光測量分析近表面金屬污染

在這項工作中，透過基於光致發光測量的創新技術對植入鉬和鎢的晶圓進行分析，旨在評估該技術檢測近表面區域金屬污染的能力。 將載子擴散長度的表面光電壓 (SPV) 測量結果與光致發光測量結果進行比較。 結果表明，透過光致發光強度測量可以輕鬆檢測到污染物劑量低至約 10¹⁰cm⁻² 的鉬和鎢污染物。 反之亦然，SPV 對這些元素的敏感度有限 (≥5·10¹⁰cm⁻²)，因為它們的擴散率較低。 因此，光致發光強度測量可以成為監測慢擴散器污染的傳統載子擴散長度測量的有效替代方案。

‍