
在「生長」壽命和電池性能之間發現了有趣的間接相關性,因為兩者都受到晶圓熱歷史的影響。
我們也觀察到透過 LST 在生長樣品上測量的 BMD 位置與 PERT 電池上的缺陷區域之間存在非常強的相關性透過 PL 測量進行定位。對熱處理樣品的 LST 測量(模擬 PERT 電池過程)顯示 BMD 在低效率區域的生長。 這表明即使在使用LST技術的生長材料中也可以檢測出有害缺陷。
F. Korsós, L. Roszol, F. Jay, T. Szarvas, Z. Kiss, A. Szabó, I. Soczó, Gy. Nádudvari, N. Laurent