多功能光電計量平台

光伏的高階表徵是一個複雜的過程，必須解決體缺陷、界面、鈍化和退化現象。 它不僅需要適當的測量技術，還需要將測量與改變缺陷/界面活性的處理相結合。 優選地，計量應當是非接觸式的且具有成本效益。 這項工作的目的是為矽光伏提供這種多功能晶圓級表徵能力。 在本文中，我們描述了一個多功能計量平台。 給出的範例應用說明了順序測量對於以下方面的重要性： 1 - 監測光伏晶片和太陽能電池的光致退化； 2-界面陷阱密度與表面複合之間的相關性以及表面勢壘的作用，3-場效應電位發射極鈍化的監測。