用於矽光伏鈍化檢測的線上 PL 成像新方法

我們報告了基於我們最近推出的單 PL 影像概念的 PL 成像在線表面鈍化檢測的新且非常有效的方法的進展。 介紹了這種新穎的 inlinePL 技術的細節，並證明了它作為先進太陽能電池製造過程檢測工具的適用性。 提供了使用異質結結構的方法學範例，特別適合高效電池。 結果表明，除了觀察到原始 PL 影像本身適合使用 QSS-μPCD 技術的直接參數校準對鈍化缺陷進行高分辨率可視化之外，PL 影像還可以轉換為發射極飽和電流 (J0e) 和隱含 Voc 影像。 我們的線上 PL 成像技術的準確性透過將原始 PL 計數影像與傳統且廣泛使用的基於 2D 相機的固定 PL 成像技術進行比較，並將計算的基於在線 PL 的 J0e 和隱含 Voc 影像與基於準穩態光偏置微分壽命的 QSS-μPCD 技術確定的 J0e 和隱含 Voc 影像進行比較。 兩項對比測試均顯示所應用技術之間具有良好的一致性，不僅證實了在線 PL 成像技術的實用優勢，而且具有準確性。