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2001 • Jpn. J. Appl. Phys. Vol 40 2001) pp. L1003-L1004, Part2, No 10A, 1 Oct. 2001
研究了一種透過醌氫醌/乙醇處理對矽基材進行表面鈍化的新技術。 為了估計表面鈍化效應，使用微波光電導衰減方法測量了矽基板的壽命。 測量的壽命取決於醌氫醌濃度和鈍化時間。 0.01 mol/dm3醌氫醌/乙醇處理表現出良好的鈍化效果，並獲得了非常低的表面複合速度。 醌氫醌/乙醇處理是比碘/乙醇處理更有效的鈍化技術。 因此，醌氫醌/乙醇鈍化可廣泛用於壽命測量。
H. Takato, I. Sakata, R. Shimokawa
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