用于在线质量控制的发射极片电阻率测量的比较研究

随着最新晶体硅太阳能电池生产线的自动化程度和产量不断提高，直接纳入相应工艺设备的质量控制 (QC) 越来越受到人们的关注。 磷扩散步骤的主要质量控制参数是发射极薄层电阻，通常根据手动抽取的样本进行测量。 相比之下，我们的目标是开发和测试可以直接纳入大容量扩散设备的测量方法。 我们研究了两种非接触式方法：涡流技术和新开发的基于 SPV（表面光电压）探测的系统。 使用四点探针 FPP 作为参考测量技术。 结果可以清楚地表明，新的 30 MW 电池系中已包含的新型 SPV 方法可达到与离线 FPP 相同的精度，而涡流技术则无法应用。

‍