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微光致发光成像用于确定热步骤对与深沟槽隔离相关的位错密度的影响。 先前的工作表明，由于与深沟槽位错相关的滑移而导致栅极氧化物失效。 微光致发光成像能够观察深沟槽隔离 (DTI) 晶圆加工过程中热致应力引起的位错产生。
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