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2001 • Jpn. J. Appl. Phys. Vol 40 2001) pp. L1003-L1004, Part2, No 10A, 1 Oct. 2001
研究了一种通过醌氢醌/乙醇处理对硅基材进行表面钝化的新技术。 为了估计表面钝化效应，使用微波光电导衰减方法测量了硅基板的寿命。 测量的寿命取决于醌氢醌浓度和钝化时间。 0.01 mol/dm3醌氢醌/乙醇处理表现出良好的钝化效果，并获得了非常低的表面复合速度。 醌氢醌/乙醇处理是比碘/乙醇处理更有效的钝化技术。 因此，醌氢醌/乙醇钝化可广泛用于寿命测量。
H. Takato, I. Sakata, R. Shimokawa
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