異なるベーキング段階におけるSU-8コーティングウェーハのナノインデンテーション分析
著者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
トピック: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy


IND-1000 ナノインデンテーション
著者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
トピック: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy
著者: P. M. Nagy, P. Horvath, G. Peto, E. Kalman
トピック: Atomic Force Microscope (AFM); Ion Implantation; nanoindentation; Phase Transformation of Si; Pile-Up; Pop-In; Surface Modification
著者: DR. JAKAB ANDRÁS, DR. VÁNKAY KATA LILLA, DR. TARJÁNYI TAMÁS, GULYÁS GÁBOR, BALI KRISZTIÁN DÉZSI PÁL PATRIK, SÁMI MÁRTON DR. FRÁTER MÁRK
トピック: nanoindentation
著者: Justin C. Bonner; Krisztián Bali; Bishal Bhandari; Tamás Tarjányi; Julia W.P. Hsu
トピック: PET; Durability; Adhesion; Transparent conducting electrode; Thermo-mechanical properties
IND-1000 ナノインデンテーション