microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
Siにおけるイオンチャネリングおよびコインプラントがイオン飛程と損傷に及ぼす影響:PL、SRP、SIMSおよびMCモデルによる研究
著者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
トピック: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
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測定パラメータ:
SRP-170 拡がり抵抗プロファイリング
著者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
トピック: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
著者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
トピック: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-170 拡がり抵抗プロファイリング