SRP-2100 / SRP-2100i 拡がり抵抗プロファイリング

Name: SRP-2100 / SRP-2100i 拡がり抵抗プロファイリング
Brand: Semilab

SRP-2100 / SRP-2100i 拡がり抵抗プロファイリング — 拡がり抵抗プロファイリング

• プロセス制御：半導体ファブにおける先端プロセスモニタリングとチューニング

• 故障解析：Siデバイスのトラブルシューティングのための正確なドーパントおよび抵抗率プロファイリング

• 研究開発：多層膜および化合物半導体構造のプロファイリング

• 特性評価：接合、遷移ゾーン、多層膜スタックのデプスプロファイリング

SRP-2100 / SRP-2100i 拡がり抵抗プロファイリング

著者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt

トピック: microPL; JPV; photo-modulated reflectance

著者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa

トピック: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY

SRP-2100 / SRP-2100i 拡がり抵抗プロファイリング