不同烘烤階段 SU-8 塗層晶圓的奈米壓痕分析
作者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
主題: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy

奈米壓印技術是量化微小體積材料特性的關鍵。IND-1000 是一款先進的奈米壓印系統,專為微米至奈米尺度的精確力學性能量測而設計,其量測項目涵蓋彈性模數、硬度、斷裂韌性以及黏彈性行為。
本設備採用 Fisher-Cripps 實驗室備受認可的奈米壓印技術,確保針對各種材料——從半導體、高硬度薄膜、多相金屬與陶瓷,到聚合物與生物材料——皆能提供穩定且具重複性的量測結果。
IND-1000 奈米壓印
作者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
主題: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy
作者: P. M. Nagy, P. Horvath, G. Peto, E. Kalman
主題: Atomic Force Microscope (AFM); Ion Implantation; nanoindentation; Phase Transformation of Si; Pile-Up; Pop-In; Surface Modification
作者: DR. JAKAB ANDRÁS, DR. VÁNKAY KATA LILLA, DR. TARJÁNYI TAMÁS, GULYÁS GÁBOR, BALI KRISZTIÁN DÉZSI PÁL PATRIK, SÁMI MÁRTON DR. FRÁTER MÁRK
主題: nanoindentation
作者: Justin C. Bonner; Krisztián Bali; Bishal Bhandari; Tamás Tarjányi; Julia W.P. Hsu
主題: PET; Durability; Adhesion; Transparent conducting electrode; Thermo-mechanical properties
IND-1000 奈米壓印