microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
離子通道和共注入對 Si 中離子範圍和損傷的影響：使用 PL、SRP、SIMS 和 MC 模型的研究
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主題: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
閱讀文獻
歡迎洽詢產品資訊與報價
針對您的研究需求，提供專業諮詢與客製化解決方案
• 製程控制：半導體廠內的高階製程監測與參數調校
• 失效分析：針對矽元件故障排除提供精確的摻雜與電阻率剖面分析
• 研究開發：多層膜與化合物半導體結構之剖面分析
• 特性表徵：接面、過渡區與多層疊層結構之深度剖面分析
SRP-2100 / SRP-2100i 擴散電阻分析儀
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主題: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
作者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
主題: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-2100 / SRP-2100i 擴散電阻分析儀
