IEEE Photovoltaic Specialists Conference, IEEE NewYork 2000.) p 99.2000
Lifetime mapping of Si Wafers by an Infrared Camera
作者: M. Bail, J. Kentsch, R. Brendel, M. Schulz
主题: carrier lifetime; infrared camera
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• 6 电极接触探针,有效消除接触电阻影响
• 测量原理:
四探针 (4PP) 是一种广泛应用的接触式技术,用于监测掺杂浓度、电阻率或发射极方阻值。通过将电压电极与电流电极分离,该技术消除了测量结果中的接触电阻影响。由于测试电压受限,在高电阻率范围内,可测得的电流会变得非常微弱,这构成了该测量方法的应用局限。而我们的六探针 (6PP) 技术通过增加两个额外的针脚来尽可能地抑制测量噪声,从而有效解决了这一难题。
• 高测量精度和出色的重复性
• 绝对参考测量技术,无需校准
• 操作快速简便,配备清晰的图形用户界面
• 耐用的探针头,在常规使用下具有极长的使用寿命
• 多功能性:可处理包括硅片、太阳能电池、金属、TCO 及其他薄膜层在内的多种材料