FPP-1006 四探針測定

• 薄膜半導体、TCO、金属層の高精度シート抵抗測定

• サンプル材料：Si、エピタキシャル層、Si上の金属/イオン注入層

• 太陽電池のエミッタ層のシート抵抗測定

• PV業界、薄膜抵抗測定、R&Dで広く使用

• Semilabの信頼性とサポートによる業界標準6探針法