FPP-1006 四探針測定

• 接触抵抗の影響を排除する6電極コンタクトプローブ

• 測定原理：

四探針プローブ（4PP）は、ドーピング密度、抵抗率、またはエミッタシート抵抗値のモニタリングに広く使用されている接触式技術です。電圧電極と電流電極の分離により、測定結果から接触抵抗の影響が排除されます。使用電圧には制限があるため、高抵抗率範囲では測定可能な電流が非常に小さくなり、測定の限界となります。当社の6ピンプローブ（6PP）技術では、2本の追加ピンを使用して測定ノイズを可能な限り抑制し、この問題を克服しています。

• 高い測定精度と優れた再現性

• キャリブレーション不要の絶対リファレンス測定技術

• 明瞭なグラフィカルユーザーインターフェースによる迅速で容易な操作

• 通常使用時の高い耐久性を持つプローブチップ

• Siウェーハ、太陽電池、金属、TCO、その他の薄膜層を含む幅広い材料に対応する汎用性