COREMA-2000 비접촉식 저항률 매핑

• 칩 제조 전 화합물 반도체 웨이퍼의 저항률 매핑 및 균일도 평가

• 반도체 생산 라인에서의 입고 웨이퍼 품질 관리

• RF, 광전자, 포토닉스, 군사, 항공우주, 전력 소자 제조 분야에서 고저항률 기판의 실시간 공정 모니터링

• GaAs, SiC, GaN, GaO, CdTe, InP 및 기타 반절연 기판 소재에 적용 가능