COREMA-2000 비접촉식 저항률 매핑

• 우수한 반복 재현성:  <1%(*자세한 내용은 별도 문의),
• 시료 표면: 에칭 또는 연마, 에즈컷(as-cut) 또는 베어 웨이퍼,
• 시료 크기: 최대 직경 200mm,
• 최소 시료 크기: 단일 지점 측정을 위한 10×10mm 샤드,
• shard: 10⁵~10¹² Ω·cm
• 측정 파라미터:
  
  • 최대 1024×1024 데이터 점의 웨이퍼 전체 토포그램
  • 신속 평가
  • 웨이퍼 직경: 최대 200mm
  • 수동 웨이퍼 핸들링
  • 자동 비접촉식 조정
  • 매핑 기능

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