FPP-1006 4점 프로브 측정

• 접촉 저항 영향을 제거하는 6전극 접촉식 프로브

• 측정 원리:

4점 프로브(4PP)는 도핑 농도, 저항률 또는 이미터 시트저항 값을 측정하기 위해 널리 사용되는 접촉식 모니터링 기법입니다. 전압 전극과 전류 전극을 분리함으로써 접촉 저항이 측정 결과에 미치는 영향을 제거할 수 있습니다. 또한 인가 전압이 제한되어 있기 때문에, 고저항률 범위에서는 측정 가능한 전류가 매우 작아져 측정에 한계가 발생할 수 있습니다. 본 장비의 6핀 프로브(6PP) 기술은 두 개의 추가 핀을 사용하여 측정 노이즈를 최소화함으로써 이러한 문제를 개선합니다.

• 높은 측정 정확도와 우수한 반복 재현성

• 교정이 필요 없는 절대 기준 측정 기법

• 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통한 빠르고 간편한 작동

• 일반 사용 환경에서 긴 수명을 제공하는 내구성 높은 프로브 팁

• 다양한 재료에 적용 가능: Si 웨이퍼, 태양전지, 금속, TCO 및 기타 박막층