SRP-2100 / SRP-2100i 확산 저항 프로파일링

• 공정 제어: 반도체 공장의 고급 공정 모니터링 및 튜닝

• 오류 분석: Si 장치 문제 해결을 위한 정확한 도펀트 및 저항률 프로파일링

• 연구 및 개발: 다층 및 화합물 반도체 구조 프로파일링

• 특성화: 접합부, 전이 영역 및 다층 스택의 깊이 프로파일링