COREMA-2000 非接觸式電阻率分布量測儀

Name: COREMA-2000 非接觸式電阻率分布量測儀
Brand: Semilab

COREMA-2000 非接觸式電阻率分布量測儀 — 非接觸式電阻率分布量測

• 晶片製造前化合物半導體晶圓的電阻率分布量測與均勻度評估

• 半導體生產線進料晶圓的品質管制

• 在射頻、光電、光子學、國防、航太及功率元件製造中，針對高電阻率基板進行即時製程監控

• 適用於 GaAs、SiC、GaN、GaO、CdTe、InP 等材料與其他半絕緣基板

COREMA-2000 非接觸式電阻率分布量測儀

作者: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely

主題: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor

COREMA-2000 非接觸式電阻率分布量測儀