IEEE Photovoltaic Specialists Conference, IEEE NewYork 2000.) p 99.2000
Lifetime mapping of Si Wafers by an Infrared Camera
作者: M. Bail, J. Kentsch, R. Brendel, M. Schulz
主題: carrier lifetime; infrared camera
閱讀文獻

• 針對半導體薄膜、透明導電氧化層及金屬層提供精確的片電阻量測
• 樣品材料:矽、磊晶層、矽基板上的金屬層或離子佈植層
• 太陽能電池中射極層的片電阻量測
• 廣泛應用於太陽能光電產業、薄膜電阻量測及研發領域
• 符合業界標準的六探針法,並具備 Semilab 的可靠性與支援服務