IEEE Photovoltaic Specialists Conference, IEEE NewYork 2000.) p 99.2000
Lifetime mapping of Si Wafers by an Infrared Camera
作者: M. Bail, J. Kentsch, R. Brendel, M. Schulz
主題: carrier lifetime; infrared camera
閱讀文獻

• 六電極接觸式探針,可消除接觸電阻影響
• 量測原理:
四探針法是一種廣泛應用的接觸式量測技術,用於監測摻雜濃度、電阻率或射極片電阻值。其原理是透過將電壓與電流電極分離,藉此消除量測結果中接觸電阻所造成的影響。由於設備施加的電壓有其上限,因此在高電阻率範圍內,可測得的電流會變得極為微小,這也構成了此量測技術的限制。透過我們的六針探針技術,我們利用額外的兩支針腳最大限度地抑制量測雜訊,進而克服了上述問題
• 高量測精確度與優異的重複性
• 絕對參考量測技術,無需進行校正
• 操作快速簡便,具備直觀的圖形化使用者介面
• 耐用的探針頭,在正常使用下具備極長壽命
• 多功能應用:可處理多種材料,包含矽晶圓、太陽能電池、金屬、TCO 及其他薄膜層