SE-2000 분광 타원편광법

박막 측정을 위한 새로운 전처리 방법

PV 웨이퍼의 이미터 시트 저항 테스트를 위한 접촉식 및 비접촉식 정밀 측정 방법

저자: Ferenc Korsós, Péter Tüttő, Ilias Saegh, Krisztián Kis-Szabó, and Attila Tóth

주제: 4pp; diffusion; junction photovoltage technique; photovoltaics; process monitoring

암모니아 증기 유도에 의한 다양한 기판 상 메조다공성 실리카 코팅의 이중층 변환

저자: Lenke Kócs, Borbála Tegze, Emőke Albert, Csaba Major, András Szalai, Bálint Fodor, Péter Basa, György Sáfrán, Zoltán Hórvölgyi

주제: porous silica coatings; spectroscopic ellipsometry; ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY; mesoporous; anti-reflective coatings

불포화 수증기를 응축하고 물방울을 방출하는 양친매성 나노공극

저자: Baekmin Q. Kim1†, Zachariah Vicars1†, Máté Füredi2,3, Lilia F. Escobedo1, R. Bharath Venkatesh1‡, Stefan Guldin2,4,5, Amish J. Patel1*, Daeyeon Lee1

주제: spectroscopic ellipsometry

Mueller 행렬 투과 타원편광법을 이용한 말라리아 감염 부산물 분석

저자: P. Basa, B. Fodor, Zs. Nagy, B. Oyunbolor, A. Hajtman, S. Bordács, I. Kézsmárki, A. Halbritter, Á. Orbán

주제: ellipsometry; rotating compensator; mueller matrix; spectroscopic ellipsometer

얇은 SiGe:B 층에 대한 계측 기법 결합의 이점

저자: D. Le Cunff, T. Nguyen, R. Duru, F. Abbate, J. Hoglund, N. Laurent, F. Pernot, M. Wormington

주제: Ge-Si alloys; boron; elemental semiconductors; semiconductor doping; semiconductor epitaxial layers

메조/거대다공성 경계를 넘어: 맞춤형 흡착제를 통한 박막 내 모세관 응축 기반 기공 크기 특성화의 확장

저자: Máté Füredi, Cristina V. Manzano, András Marton, Bálint Fodor, Alberto Alvarez-Fernandez,*

주제: EP

블록 공중합체로 조립된 나노공 어레이를 통해 초고감도 라벨 프리 DNA 검출 가능

저자: Maximiliano Jesus Jara Fornerod, Alberto Alvarez-Fernandez, Máté Füredi, Anandapadmanabhan A Rajendran, Beatriz Prieto-Simón, Nicolas H. Voelcker, Stefan Guldin

주제: spectroscopic ellipsometry

혁신적 장비 및 제품: 단일 장비로 심자외선부터 중적외선까지 분광 타원편광법을 이용한 원자층 증착 Al:ZnO 층 분석

저자: László Makai, Tero Lehto, Bálint Fodor, Peter King

주제: doping; Electrical properties; spectroscopic ellipsometry; thin films; atomic layer deposition

임베디드 반도체 나노결정을 이용한 질화규소 기반 비휘발성 메모리 구조의 충전 거동

저자: Zs.J. Horváth, P. Basa, T. Jászi, K.Z. Molnár, A.E. Pap, Gy. Molnár

램프 조명을 통한 Si 표면 세정

저자: A. Danel, C.L. Tsai, K. Shanmugasundaram, F. Tardif, E. Kamieniecki, J. Ruzyllo

주제: Lamp cleaning; Organic contamination; Volatile contaminants; hydrocarbons

Mueller 매트릭스 타원편광법을 이용한 포크시트 FET 어레이의 구조적 비대칭성 검출의 이론적 연

저자: Balogh Imre, Kiss Roberta Zsófia, Egri Dávid

주제: spectroscopic ellipsometry

스퍼터링으로 증착된 비정질 인듐 갈륨 아연 산화물 박막의 공정 증착에 대한 타원편광법 연구

저자: C. Talagrand, X. Boddaert, D.G. Selmeczi, C. Defranoux, P. Collot

주제: InGaZnO; spectroscopic ellipsometry; Dielectric function; Process deposition; Amorphous semiconductor

대형 LED 웨이퍼용 ALD에 의한 균일한 투명 전도성 ZnO:Ga

저자: Homogeneous Transparent Conductive ZnO:Ga by ALD for Large LED Wafers

주제: GZO; Atomic layer deposition; TCO; Rapid thermal annealing; LED

잉크젯 프린팅 기반 수직 방출 고체 유기 레이저

저자: O. Mhibik, S. Ch´enais, S. Forget, Ch. Defranoux, S. Sanaur

주제: vertically-emitting solid-state organic lasers (VECSOLs); inkjet printing; new host polymer matrix for standard laser dyes; Tunable laser

타원편광 기공분석법을 이용한 메조다공성 실리카 재료의 내부 습윤성 조사

저자: Máté Füredi, Bálint Fodor, András Marton, Alberto Alvarez-Fernandez, Aysha ARiaz, Curran Kalha, Anna Regoutz, Stefan Guldin, Péter Basa

주제: Ellipsometers; ellipsometry; ellipsometry porosimetry; ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY; ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY (R&D); Mesoporous silica films; Porosimetry; mesoporous

분광 타원편광법을 이용한 수직 공진기 표면 발광 레이저용 서브파장 격자 구조 모니터링

저자: Emeric Balogh, Peter Basa, Attila Suto, Benjamin Powell, Anna Bölcskei-Molnár, and Szilvia Biró

주제: ellipsometry; spectroscopic ellipsometry

전이금속 이황화물의 근적외선 광학 특성 및 상변화 활용 가능성

저자: Akshay Singh, Yifei Li, Balint Fodor, Laszlo Makai, Jian Zhou, Haowei Xu, Austin Akey, Ju Li and R. Jaramillo

주제: ellipsometry; visible spectra; Transmission electron microscopy; Density functional theory; Photonic integrated circuits; Transition metal chalcogenides; Optical metrology; Crystalline solids; Optical electronics

자동 아티팩트 최소화 방법을 이용한 분광 타원계측 데이터로부터의 광학 상수 및 층 구조 결정

저자: J. Budai, B. Farkas, Z.L. Horváth, Zs. Geretovszky

주제: ellipsometry; modelling; Artifact minimization; Numerical inversion

메조다공성 실리카 습도 센서의 합리적인 설계

저자: Máté Füredi, Alberto Alvarez-Fernandez, Maximiliano Jesus Jara Fornerod, Bálint Fodor, and Stefan Guldin

주제: spectroscopic ellipsometry; EP

금속 및 금속-산화물 다층 하이브리드 플라즈모닉 나노구조에 대한 분광 타원편광법

저자: A.A. Khosroabadi, P. Gangopadhyay, B. Cocilovo, L. Makai, P. Basa, B. Duong, J. Thomas, and R.A. Norwood

주제: spectroscopic ellipsometry

자유 액체-액체 및 액체-공기 계면에 대한 분광 타원편광법 연구

저자: László Makai, Benjamin Kalas, György Tiborcz

주제: Ellipsometers; ellipsometry; Interfaces; spectroscopic ellipsometry; Surface; Surface measurement

전기화학적 리튬 삽입 과정에서 실리콘 나이트라이드 음극의 구조적 진화

저자: Adam J. Lovett*, Máté Füredi, Liam Bird, Samia Said, Brandon Frost, Paul R. Shearing, Stefan Guldin, Thomas S. Miller*

주제: spectroscopic ellipsometry

분광 타원편광법을 이용한 SnO₂:F/SiCxOy 저방사 코팅의 광학적 및 전기적 특성에 대한 어닐링 효과 연구

저자: K. Wang, B. Cheng, B. Wu, C. Defranoux, P. Basa, C. Song, G. Han, Y. Liu

주제: spectroscopic ellipsometry; Fluorinated tin oxide; Low emissivity; annealing

Szilicium felületkezelése femtoszekundomos lézerrel (펨토초 레이저 기술을 이용한 실리콘 표면 처리)

저자: Windisch M., Buza G., Maloveczky A., Vida Á., Selmeczi D., Dankházi Z.:

주제: Si surfaces; spectroscopic ellipsometry; surface treatment

안정제 농도가 In₂O₃ 박막 형성에 미치는 영향

저자: Aysha A. Riaz, Curran Kalha Maria Basso, Máté Füredi, Anna Regoutz

주제: spectroscopic ellipsometry

Tracking Lithium Intercalation in Battery Electrodes via Their Electrochromic Properties Using Operando Ellipsometry

저자: Jialin Gu; Adam J. Lovett; Máté Füredi; Thomas Dore; Stefan Guldin; Thomas S. Miller

주제: ellipsometry; spectroscopic ellipsometry; material science; operando ellipsometry

Titania-Supported Photocatalytic Coatings of Cu2O Nanoparticles Synthesized via Heterogeneous Nucleation

저자: Petra Demény; Borbála Tegze; Bálint Fodor; Pál Maák; János Madarász; Zsombor Pap; Dániel Zámbó; Tamás Igricz; Adél Sarolta Rácz; Norbert Nagy; Zoltán Hórvölgyi

주제: Oxides; Metal oxide nanoparticles; Nanoparticles; Coating materials; Semiconducting nanostructured materials

Model investigation of a consecutive dye uptake and release process by using a bilayered chitosan-mesoporous silica nanocoating system

저자: Péter Márton; Simon Titkó; András Marton; Bálint Fodor; Péter Basa; Gergely Stankovits; Benjámin Gyarmati; János Rohonczy; Tamás Szabó; Dániel Zámbó; Zoltán Hórvölgyi

주제: Chitosan; Mesoporous silica reservoir; Bilayer nanocoating; Rhodamine 6G; Uptake and release

Vapor sorption-based critical dimension metrology for uniaxial anisotropic nanopatterns

저자: Máté Füredi; András Marton; József Szenka; Boglárka Dikó; Emeric Balogh; Bálint Fodor; Thomas Siefke; Péter Basa

주제: Metrology; Porosimetry; Spectroscopy; Thin films; Nanomaterials; Geometrical optics; Surface and interface chemistry; Kelvin equation

Spectroscopic Ellipsometry Investigations on Organic/Inorganic Liquid Surfaces in Mid-IR Range

저자: László Makai; Bálint Fodor; Péter Rutka; Péter Basa; Benjámin Kalas; Alekszej Romanenko; Péter Petrik

주제: Ellipsometers; ellipsometry; Interfaces; spectroscopic ellipsometry; Surface; Surface measurement