Materials Science and Engineering, B41989
半导体深能级的色散微波瞬态光谱
作者: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely
主题: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor
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COREMA-2000 系列提供精确、无损且非接触的电阻率测量解决方案,主要针对SiC、GaN、GaAs、CdTe、GaO和InP等半绝缘化合物半导体而设计。该系统具备极高的准确度和重复性,能够完美支持科研开发以及工业半导体制造环境。
COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统