COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统

Name: COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统
Brand: Semilab

COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统 — 非接触式电阻率扫描系统

• 芯片制造前化合物半导体晶圆的电阻率扫描与均匀性评估

• 半导体生产线来料晶圆的质量控制

• 射频、光电子、光子学、军事、航天及功率器件制造中高阻衬底的实时工艺监控

• 适用于GaAs、SiC、GaN、GaO、CdTe、InP 等半绝缘衬底材料

COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统

作者: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely

主题: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor

COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统