COREMA-2000 非接触式电阻率扫描系统

• SEMI 标准的原始制定者，拥有领先的全球支持网络
• 完全符合 SEMI M87-0422 非接触式电阻率测量行业标准
• 在全球 14 个及以上国家获得信赖并部署使用
• 常规操作无需校准
• 用户友好型图形界面，支持彩色形貌图显示
• 非接触、无损的全外延片电阻率测量
• 卓越的测量重复性与极宽的测量范围
• 测量原理：采用非接触式电容技术，对半绝缘区极宽范围内的全晶圆电阻率进行表征
• 操作与自动化：
  
  • 可根据要求支持全自动化（特别是配有机械手搬运晶圆的 Corema-2201 型号）
  • 测量参数与工艺流程完全支持定制化
  • 半自动晶圆放置
• 数据和处理软件：
  
  • 内置软件提供详细的晶圆图谱与电阻率剖面图
  • 符合行业标准的定制化报告，支持多种数据格式输出：Semilab 内部格式、TXT 及 PDF

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