SRP-2100 / SRP-2100i 扩展电阻分析仪

SRP-2100 系列是 Semilab 针对半导体晶圆高精度扩展电阻法剖面分析 (SRP) 及掺杂浓度分析的旗舰级解决方案。该系列适用于硅及化合物半导体（需选配 PCIV 选件），能够提供全自动、精确的深度剖面分析，广泛用于工艺监测、失效分析及器件表征。