microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
离子沟道和共注入对 Si 中离子范围和损伤的影响:使用 PL、SRP、SIMS 和 MC 模型的研究
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主题: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
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• 工艺控制:半导体晶圆厂的高级工艺监测与调优
• 失效分析:用于硅器件故障排除的精确掺杂及电阻率剖面分析
• 研发:多层结构及化合物半导体结构的剖面分析
• 表征:结深、过渡区及多层叠层结构的深度剖面分析
SRP-2100 / SRP-2100i 扩展电阻分析仪
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主题: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
作者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
主题: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-2100 / SRP-2100i 扩展电阻分析仪