非貫通型4点プローブによる超浅接合シート抵抗の正確な測定

USJソース・ドレイン構造物の4点プローブ（4pp）シート抵抗（R/Sub S/）を正確に測定する方法が記載されています。新しい方法では、エラスティック・マテリアル・ゲート (EM-Gate) プローブを利用してシリコン表面に非貫通型のコンタクトを形成します。プローブの設計はキネマティックであり、プローブ材料の弾性変形を確実にするために力を制御しています。プローブの材質は、大きなダイレクトトンネリング (DT) 電流が天然酸化物に流れ、それによって低インピーダンスの接点が形成されるように選択されています。この論文では、新しい4ppを移植したさまざまなUSJ構造物で実証する予定です。

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