2021
バキュームボリューム 192、2021 年 10 月、110415

各種基材上のメソポーラスシリカコーティングのアンモニア蒸気誘起二層転移

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Abstract

準備しました メソポーラスシリカ さまざまな基板(シリコン、 ポリカーボネート、細孔を形成するトリブロックを使用した顕微鏡(ガラスと石英) 共重合体 (プルロニック PE10500)。堆積したばかりの層をアンモニア水溶液雰囲気中でエージングしました。基材に応じて、120℃で13時間の低温熱処理と、480℃で1時間高温熱処理の2種類の熱硬化を実施しました。そこで、ポロゲン抽出を行いました。 共重合体 水洗工程で低温熱処理されたサンプルからの分子。

光学分光法 測定により、コーティングの光透過率が大幅に向上し、長持ちすることがわかりました。最大光透過率は、ガラスでは 98.3%、ガラスでは 97.6% でした。 ポリカーボネート 4年間の保管後。TEMの調査により、面中心の立方体構造が歪んだ薄い層が見られました。

分光学 エリプソメトリー そして、エリプソメトリーによるポロシメトリーの研究では、「2層」の構造が示されました。応用された合成技術により、細孔径が比較的厚い(10〜25 nm)二重層構造の形成が促進されました。擬似形質転換により、アンモニアの存在下でシリカ/コポリマー構造が再配列されました。形質転換は不完全で、上層は気孔率が低く (23~ 34%)、下層は気孔率が高い (40~ 76%) という結果になりました。

Topic

多孔質シリカコーティング、分光エリプソメトリー、エリプソメトリックポロシメトリー、メソポーラス、反射防止コーティング

Author

レンケ・コッチ、ボルバラ・テグゼ、エムケ・アルバート、チャバ・メジャー、アンドラス・サライ、バーリント・フォドール、ピーター・バサ、ジェルジ・サフラン、ゾルターン・ホルヴォルジ

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