この研究では、モリブデンとタングステンを注入したウェーハを、フォトルミネッセンス測定に基づく革新的な手法で分析します。その目的は、表面近くの金属汚染を検出するこの技術の能力を評価することです。キャリア拡散長の表面光電圧 (SPV) 測定値をフォトルミネッセンス測定の結果と比較します。モリブデンとタングステンの汚染は、約 10% までのフォトルミネッセンス強度測定によって簡単に検出できることが示されています。10cm−2 汚染物質の投与量。逆に、SPVはこれらの元素に対する感度が限られています（5・10以上）。10cm−2）、拡散率が低いため。したがって、フォトルミネッセンス強度測定は、低速ディフューザーの汚染を監視する上で、従来のキャリア拡散長測定の代わりとして有効な手段となり得ます。
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