2008
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会議要旨集-電気化学会

高誘電率MOSコンデンサの非接触モニタリングへのマイクロコロナケルビン法の応用

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Abstract

Topic

コロナケルビン計測、誘電体、非接触測定

Author

アントン・ベリャエフ、マーシャル・ウィルソン、ヤセク・ラゴウスキー、ルベック・ヤストシェブスキー、アンドリュー・フィンドレー、J・プライス、CSパーク、ムハンマド・M・フセイン、G・バースカー、PS Lysaght
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