メソ/マクロポーラスの境界を越えて：テーラード吸着剤による薄膜のキャピラリー凝縮に基づく細孔径特性評価の拡大

直径が50 nmを超えるナノポアを含む薄膜の特性評価は、特に収着法を採用する場合に大きな課題となります。従来の体積物理吸着法や水銀侵入法は、サンプル調製や非破壊検査の制約により、薄膜への適用範囲が限られていました。このような状況では、薄膜に対する光学感度を活用するエリプソメトリー法が有効な代替手段となります。既存の構成では水などの揮発性化合物のキャピラリー凝縮に頼っているため、適用できるのは通常、細孔径が50 nm未満に制限されます。本研究では、エチルベンゼンとエチルベンゼンという2つの高モル質量の炭化水素吸着剤を紹介します。 n-ノナン。これらの吸着剤は、メソポーロシティを超える（つまり、50 nmを超える）物理吸着測定の精度を向上させる大きな可能性を示している。具体的には、 n-ノナン、適用範囲は最大80nmの細孔まで拡張されます。当社の測定ガイドラインでは、多様な構造構造に適応できる可能性のあるナノ多孔質薄膜を調べるために、非破壊、迅速（60分未満）、低圧（0.03 bar未満）のアプローチを提案しています。

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