メソ/マクロポーラス境界を越えて：テーラード吸着剤による薄膜のキャピラリー凝縮に基づく細孔径特性評価の拡大

直径が50 nmを超えるナノポアを含む薄膜の特性評価は、特に吸着ベースの技術を採用する場合に大きな課題となります。従来の体積物理吸着法や水銀侵入法は、サンプル調製や非破壊検査の制約により、薄膜への適用範囲が限られていました。このような状況では、エリプソメトリー法は薄膜に対する光学感度を活用する有効な代替手段となります。既存の構成では、水などの揮発性化合物の毛細管凝縮に依存しているため、適用できるのは通常、細孔径が50 nm未満に制限されます。この研究では、エチルベンゼンとn-ノナンという2つの高モル質量の炭化水素吸着剤を紹介します。これらの吸着剤は、メソポーロシティを超える（つまり、50 nm以上）物理吸着測定の精度を大幅に向上させる可能性を秘めています。具体的には、n-ノナンを使用すると、適用範囲が最大80 nmの細孔まで拡張されます。当社の測定ガイドラインでは、多様な構造構造に適応できる可能性のあるナノ多孔質薄膜を調べるために、非破壊的、迅速（60分未満）、低圧（0.03バール未満）のアプローチを提案しています。