太陽光発電用途向けシリコンのキャリア寿命測定

本稿では、特に実用面に重点を置いて、太陽光発電分野におけるマイクロ波検出光伝導減衰技術（µ-PCD）の可能性の概要を説明します。インゴット、ブロック、アズカットウェーハ、加工済みウェーハ、そして完成したセルに至るまで、原料から製造プロセス全体にわたって、その応用が図られています。薄膜太陽電池研究のためのこの技術の将来の可能性についても取り上げられています。キャリア寿命測定の主な問題、すなわち、表面再結合と鉄汚染の個別検出の役割について詳細に説明します。該当する場合はいつでも、標準的なマイクロエレクトロニクス半導体アプリケーションとの比較が行われています。実験室での使用に加えて、インラインツールとしての製造環境での実装についても説明されています。

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