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セミラボグローバル
1999
•
ゲート誘電体酸化膜の完全性に関するASTM会議、1999年
COCOS (半導体のコロナ酸化物特性評価) 計測:物理原理と応用
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Abstract
Topic
COCOS、コロナ、界面トラップ、応力誘起漏れ電流、鉄汚染、接触電位差 (CPD)
Author
M. Wilson、J. Lagowski、A. Savtchouk、L. Jastrzebski、J. D'Amico
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