COCOS（半導体のコロナ酸化物特性評価）ゲート誘電体の非接触計測

COCOSメトロジーにより、300mmを含むすべてのウェーハサイズのゲート誘電体を非接触で迅速に監視できます。このアプローチは過去5年間に開発され、すでに多くのマイクロエレクトロニクス製造ラインで導入されています。この方法では、空気中のコロナ帯電を利用して誘電体に電荷を堆積させ、誘電体と半導体の電界を変化させます。接触電位差 (VCPD) を用いて、暗闇や強い照明の下で非接触で応答を測定します。